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12英寸300毫米热氧化硅晶片
核心亮点
· 具有优异氧化层完整性的大直径SiO2晶片。
· 非常适合大批量半导体和光子器件生产。
· 厚度公差严格,表面极其光滑。
· 适用于先进多层结构的可靠二氧化硅晶圆。
· 通常在 2-4 周内发货。
技术规格
直径:12 英寸(300 毫米)
氧化层厚度:50–20000A
· 氧化物类型:热氧化(干/湿)
·衬底:优质硅,CZ 或 FZ
表面:超平整,双面抛光
电阻率:可按需提供

