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產業新聞

利用超低電阻率基板消除高頻MEMS諧振器中的寄生電容

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2026-06-11
引言:射頻和高頻MEMS中的寄生損耗難題 隨著5G高頻段、下一代6G通訊架構和高解析度雷達系統的快速擴展,微機電系統(MEMS)諧振電路…
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平衡成本與精準度:利用結構監測基材進行CMP漿料與拋光墊壽命校準

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2026-06-10
引言:奈米級平面化的經濟壓力 在先進半導體製造中,化學機械平面化 (CMP) 已從基本的形貌校正步驟發展成為多層微縮的關鍵使能技術。
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在矽光子共封裝光學元件(CPO)平台上實現亞奈米波導相位相干性

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2026-06-09
引言:下一代資料中心互連的擴展極限 人工智慧叢集、高效能運算節點和雲端資料中心的指數級增長,已將傳統的可插拔光收發器推向了極限…
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減輕高劑量離子注入先進邏輯節點過程中金屬污染和顆粒缺陷

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2026-06-08
引言:7nm及以下製程的純度需求 隨著半導體產業朝向7nm、5nm乃至3nm以下邏輯節點發展,電晶體對不可見缺陷的敏感度已達到關鍵的轉折點。在這些先進的架構中…
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克服超高壓矽晶閘管和功率整流器中的散熱瓶頸

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2026-06-05
引言:兆瓦級電力電子元件的熱特性 高壓直流 (HVDC) 電網和重型工業馬達驅動的電力傳輸需要能夠阻斷超過…電壓的功率半導體開關。
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晶格取向對光學CMOS感測器蝕刻各向異性和量子效率的關鍵影響

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2026-06-04
引言:下一代成像陣列的幾何物理學 現代互補金屬氧化物半導體(CMOS)圖像感測器(CIS)的性能追蹤——為自動駕駛汽車雷射雷達陣列、高解析度醫用內視鏡等應用提供支援…
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優化深反應離子蝕刻(DRIE)縱橫比以用於下一代MEMS壓力感測器

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2026-06-04
引言:先進壓力計量中的深蝕刻挑戰 微機電系統 (MEMS) 壓力感測器在汽車動力總成、航空航太高度計和工業流體網路中的應用,對結構強度提出了極高的要求…
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控制高頻矽基氮化鎵射頻前端模組中的基板串擾和插入損耗

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2026-06-02
引言:高頻射頻前端的寄生效應 電信網路不斷向毫米波(mmWave)頻段擴展,為先進的 5G-Advanced 基礎設施、衛星通訊和下一代通訊提供支援…
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邊緣滾降(ERO)管理在最大化汽車功率分立元件可用晶片良率中的作用

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2026-06-01
引言:汽車半導體晶圓邊緣的經濟性 汽車動力系統的快速電氣化推動了對高可靠性汽車功率分立元件(特別是絕緣柵雙極型半導體元件)前所未有的指數級需求…
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碳化矽(SiC)基板製備:用於亞埃級微粗糙度控制的先進化學機械拋光(CMP)策略

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2026-05-28
引言:寬禁帶功率半導體製造的晶格挑戰 碳化矽 (SiC) 從根本上革新了電力電子領域,成為高壓、高頻、高阻功率半導體裝置的理想基板…
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