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Der entscheidende Einfluss der Kristallgitterorientierung auf die Ätzanisotropie und die Quanteneffizienz in optischen CMOS-Sensoren

Der entscheidende Einfluss der Kristallgitterorientierung auf die Ätzanisotropie und die Quanteneffizienz in optischen CMOS-Sensoren

04.06.2026
Einleitung: Die geometrische Physik von Bildgebungsarrays der nächsten Generation. Die Leistungsverfolgung moderner komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter (CMOS)-Bildsensoren (CIS) – die in LiDAR-Arrays autonomer Fahrzeuge, hochauflösender medizinischer Endoskopie usw. zum Einsatz kommen…
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Optimierung der Aspektverhältnisse beim Tiefenreaktiven Ionenätzen (DRIE) für MEMS-Drucksensoren der nächsten Generation

Optimierung der Aspektverhältnisse beim Tiefenreaktiven Ionenätzen (DRIE) für MEMS-Drucksensoren der nächsten Generation

04.06.2026
Einleitung: Die Herausforderung der Tiefenätzung in der fortschrittlichen Druckmesstechnik Der Einsatz von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) als Drucksensoren in Automobilantrieben, Höhenmessern der Luft- und Raumfahrt sowie industriellen Fluidnetzwerken erfordert extrem hohe strukturelle Anforderungen…
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Management von Substratübersprechen und Einfügungsdämpfung in Hochfrequenz-GaN-auf-Silizium-HF-Frontend-Modulen

Management von Substratübersprechen und Einfügungsdämpfung in Hochfrequenz-GaN-auf-Silizium-HF-Frontend-Modulen

02.06.2026
Einleitung: Die parasitären Realitäten von Hochfrequenz-HF-Frontends Die unaufhaltsame Expansion von Telekommunikationsnetzen in Millimeterwellenfrequenzen (mmWave) – die die fortschrittliche 5G-Infrastruktur, Satellitenkommunikation und die nächste Generation von HF-Netzen antreiben – …
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Die Rolle des Edge Roll-Off (ERO)-Managements bei der Maximierung der nutzbaren Die-Ausbeute für diskrete Leistungshalbleiter in der Automobilindustrie

Die Rolle des Edge Roll-Off (ERO)-Managements bei der Maximierung der nutzbaren Die-Ausbeute für diskrete Leistungshalbleiter in der Automobilindustrie

01.06.2026
Einleitung: Die Ökonomie des Waferrandes in der Automobil-Halbleitertechnik Die rasante Elektrifizierung von Automobilantrieben hat zu einer beispiellosen exponentiellen Nachfrage nach hochzuverlässigen diskreten Leistungshalbleitern für die Automobilindustrie geführt, insbesondere nach isolierten Gate-Bipolartransistoren (IGB)...
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Siliziumkarbid (SiC)-Substratvorbereitung: Fortschrittliche CMP-Strategien zur Kontrolle der Mikro-Rauheit im Sub-Ångström-Bereich

Siliziumkarbid (SiC)-Substratvorbereitung: Fortschrittliche CMP-Strategien zur Kontrolle der Mikro-Rauheit im Sub-Ångström-Bereich

28.05.2026
Einleitung: Die Gitterherausforderung bei der Herstellung von Leistungshalbleitern mit großer Bandlücke Siliziumkarbid (SiC) hat die Leistungselektroniklandschaft grundlegend revolutioniert und sich zum maßgeblichen Substrat für Hochspannung, Hochfrequenz und hohe...
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Beseitigung von Oberflächenschäden (SSD) bei der Siliziumverdünnung unter 50 µm für die heterogene 3D-Integration

Beseitigung von Oberflächenschäden (SSD) bei der Siliziumverdünnung unter 50 µm für die heterogene 3D-Integration

27.05.2026
Einleitung: Die mechanische Fragilität von 3D-Siliziumstapeln. Das unaufhörliche Streben nach hochdichter Datenverarbeitung in Beschleunigern für künstliche Intelligenz (KI), Hochleistungsrechnerarchitekturen (HPC) und kompakten mobilen Chipsätzen hat die 3D-Heterogenität in den Fokus gerückt…
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Sicherstellung einer einheitlichen Oxidschichtdicke bei der Herstellung von MEMS-Automobilsensoren: Vergleich von thermisch abgeschiedenen und PECVD-Schichten

Sicherstellung einer einheitlichen Oxidschichtdicke bei der Herstellung von MEMS-Automobilsensoren: Vergleich von thermisch abgeschiedenen und PECVD-Schichten

2026-05-26
Einleitung: Die harten Realitäten der MEMS-Fertigung im Automobilbereich Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) für die Automobilindustrie – darunter mikrostrukturierte Beschleunigungsmesser, Gyroskope, Saugrohrdrucksensoren (MAP) und Hochfrequenz-HF-Schalter…
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Anforderungen an die thermische Oxidhomogenität für Hochspannungs-SiC-MOSFET-Gate-Dielektrika und Passivierungsschichten

25.05.2026
Einleitung: Zuverlässigkeitsengpass der Leistungselektronik der nächsten Generation. Der systemische Wandel hin zu 800-V-Antriebssträngen für Elektrofahrzeuge, Solarwechselrichtern im Megawattbereich und Hochspannungs-Halbleiterleistungsschaltern hat Siliziumkarbid etabliert ...
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Optimierung der Mehrschichtlithografie für die GAA-Architektur unter Verwendung ultrafeiner, hochreiner Silizium-Trägersubstrate

Optimierung der Mehrschichtlithografie für die GAA-Architektur unter Verwendung ultrafeiner, hochreiner Silizium-Trägersubstrate

25.05.2026
Einleitung: Die Herausforderung der Lithographie im GAA-Zeitalter Der Übergang von FinFET- zu Gate-All-Around (GAA)-Nanosheet-Architekturen stellt einen der radikalsten Paradigmenwechsel in der Halbleiterfertigung unter 2 nm dar. Durch das Umwickeln der Gate-Elektrode…
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Beherrschung der Waferverformung beim HBM4-Stapelbau: Das Zusammenspiel von Träger-TTV und mechanischer Dünnschichtspannung

Beherrschung der Waferverformung beim HBM4-Stapelbau: Das Zusammenspiel von Träger-TTV und mechanischer Dünnschichtspannung

2026-05-21
Einleitung: Die Krise der vertikalen Skalierung von HBM4 Die unaufhörliche Nachfrage nach KI-Clustern, Hochleistungsrechnern (HPC) und Grafikprozessoren der nächsten Generation (GPUs) hat High Bandwidth Memory (HBM) in eine neue Phase geführt…
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